仪器所属部门:分析测试中心 安置地点:电镜中心106 保管人:曹志强
主要技术特色:
材料的表面形貌、结构观测。材料表面的元素分析,高通量表征。
主要技术指标:
高真空模式分辨率1.5nm(30KV),4nm(1KV)
分析模式下分辨率3.0nm(15KV,束流1nA)
低真空模式分辨率1.8nm(15KV)
仪器所属部门:分析测试中心 安置地点:电镜中心106 保管人:曹志强
主要技术特色:
材料的表面形貌、结构观测。材料表面的元素分析,高通量表征。
主要技术指标:
高真空模式分辨率1.5nm(30KV),4nm(1KV)
分析模式下分辨率3.0nm(15KV,束流1nA)
低真空模式分辨率1.8nm(15KV)